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品名

氧化銦錫（ITO）靶材

成分

In₂O₃:SnO₂ (90:10 ±0.5wt),

其他比例按照客戶要求

外觀

黑色或深灰色

純度(%)

≥ 99.99%

相對(duì)密度(%)

≥ 99.5%

制造規(guī)格(mm)

最大尺寸1200*300平面靶

電阻率(mΩ·cm)

≤1.8×10^-4Ω·cm

雜質(zhì)≤ (ppm)

Fe

Al

Si

Ni

Cu

Pb

Cr

Sum

15

10

15

5

5

5

5

100