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品名

氧化鈮靶材

原料

氧化鈮

外觀

黑灰色，片狀或管狀等其他形狀

純度(%)

99.95%

密度(g/cm3)

4.47

制造規(guī)格

?135×?150×L200、W250×L300×T12

雜質(zhì)≤ (ppm)

Fe

Al

Si

Ni

Ta

Mn

Cr

Sum

20

10

30

10

50

10

10

100