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品名

鋁摻雜氧化鋅(AZO)靶材

原料

ZnO/Al₂O₃

外觀

黑灰色，片狀或管狀等其他形狀

純度(%)

99.99%

電阻率(mΩ·cm)

≤1×10^-3Ω·cm

制造規(guī)格

Φ135*Φ150*L200、W250*L300*T12